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WebAttestazioni OIV o struttura analoga. Ai sensi dell’art. 31 d.lgs. n. 33/2013, in questa sezione sono ospitati gli atti con i quali l’Esperto per la valutazione delle performance (già OIV) attesta l’assolvimento degli obblighi di pubblicazione in conformità all’art. 14,c. 4, let. g) d.lgs. n. 150/2009. WebKeywords: 4H-SiC, p-type implantation, post implantation annealing, electrical activation Abstract This work reports on the effect of high temperature annealing on the electrical properties of p-type implanted 4H-SiC. Ion implantations of Aluminium (Al) at different energies (30 – 200 keV) were
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